20年專業(yè)經(jīng)驗 前沿技術(shù)研發(fā)新產(chǎn)品
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首個2nm制程芯片,竟然是IBM先發(fā)布的。
沒錯,不是已經(jīng)研究出3nm技術(shù)的臺積電,也不是已經(jīng)量產(chǎn)5nm芯片的三星,而是IBM。據(jù)IBM官方表示,這種技術(shù)能在指甲蓋大小(150mm2)的芯片上安裝500億個晶體管。相比于7nm芯片,這種技術(shù)預(yù)計將提升45%的性能、并降低75%的能耗。不過,這并不意味著IBM就具備量產(chǎn)2nm芯片的能力,因為這項技術(shù)是在它位于紐約州奧爾巴尼(Albany)的芯片制造研究中心做出來的,但量產(chǎn)還涉及許多其他技術(shù)。由于IBM自己沒有10nm制程以下的晶圓廠,因此要想這個2nm工藝實現(xiàn)量產(chǎn),可能還需要找其他晶圓廠代工。
這么看來,距離我們真正用上2nm芯片,可能還需要幾年的時間。那么,2nm芯片到底怎么做出來的?
IBM的2nm,什么技術(shù)?
此前,業(yè)界普遍采用FinFET(鰭式場效應(yīng)晶體管)結(jié)構(gòu),但在5nm節(jié)點后,這種結(jié)構(gòu)難以滿足晶體管所需的靜電控制,出現(xiàn)嚴(yán)重的漏電現(xiàn)象。三星率先采用了名為GAA(gate-all-around,環(huán)繞式柵極)的晶體管技術(shù),對3nm制程芯片進(jìn)行研發(fā),IBM的2nm制程所采用的技術(shù),也同樣是GAA。其中,GAA分為納米線結(jié)構(gòu)(下圖左三)和納米片結(jié)構(gòu)(下圖右一,MBCFET是三星商標(biāo))兩種,這次IBM采用的就是納米片結(jié)構(gòu)。
相比于納米線結(jié)構(gòu),納米片結(jié)構(gòu)的長寬比較高,接觸面積更大,但也更難控制片與片之間的刻蝕與薄膜生長。從圖中可見,IBM的2nm芯片中,納米片共有三層,每片納米片寬40nm,高5nm,間距44nm,柵極長度12nm。
沒錯。這里IBM的2nm早已經(jīng)不指柵極長度(MOS管的最小溝道長度),而是等效成了芯片上的晶體管節(jié)點密度。密度越大,芯片的性能就越高。至于2nm,只是一個命名方式而已。這個芯片的密度達(dá)到了333MTr/mm2,即每平方毫米容納3.3億個晶體管。作為對比,臺積電的5nm芯片密度為171.3MTr/mm2,三星的5nm芯片密度則為127MTr/mm2。
除此之外,IBM的2nm芯片,這次還采用了不少其他技術(shù):底部電介質(zhì)隔離(bottom dielectric isolation),用于減少漏電、降低功耗;內(nèi)層空間干燥處理(inner space dry process),用于精準(zhǔn)門控;EUV光刻技術(shù),用于圖案化薄膜或大部分晶片部件。
對于這次研究的突破,IBM混合云研究副總裁Mukesh Khare表示:沒什么障礙是我們不能突破的。隨著技術(shù)成熟,還會有更多突破出現(xiàn)。相比于困難,我看到的反而是創(chuàng)新的動力和前進(jìn)的機(jī)會。不過,這并不意味著2nm芯片實現(xiàn)了量產(chǎn)。實驗室做出來≠量產(chǎn)。一個工藝從實驗室出來,到大規(guī)模量產(chǎn),過程中需要芯片代工廠不斷提升晶圓良率。晶圓良率,指完成所有工藝步驟后,測試合格的芯片的數(shù)量與整片晶圓上的有效芯片的比值。因此,晶圓良率決定了芯片的工藝成本。要是一個工藝的晶圓良率上不去,量產(chǎn)可能反而會導(dǎo)致芯片虧損。而目前,IBM的2nm芯片還停留在實驗室階段,只是制造出來而已。除此之外,也還需要考慮光刻機(jī)等工具的進(jìn)展。比較有意思的是,IBM現(xiàn)在是沒有大規(guī)模量產(chǎn)芯片的能力的,更可能將這項工藝交給三星等芯片制造商代工(目前已與英特爾和三星簽署聯(lián)合開發(fā)協(xié)議)。
IBM雖然曾經(jīng)也是芯片制造商之一,卻在2014年將自己的晶圓廠出售給了格羅方德(據(jù)說IBM還向格羅方德交了15億美元,才把晶圓廠塞給它)。那么,目前幾家芯片廠商的進(jìn)展具體如何呢?從量產(chǎn)情況來看,臺積電和三星均已實現(xiàn)了5nm量產(chǎn)。而從制造工藝來看,IBM直接實現(xiàn)了2nm的飛躍,臺積電目前研發(fā)出3nm制程,預(yù)計今明兩年實現(xiàn)量產(chǎn)。
三星目前也在研發(fā)3nm制程的芯片。至于英特爾,則還在7nm芯片上掙扎,量產(chǎn)預(yù)計要等到2023年。不過,從圖中也能看出,各廠商對于芯片的命名標(biāo)準(zhǔn)并不一致。對于IBM的這次突破,市場分析公司IDC的研究主管Peter Rudden表示:這可以被看成是一個突破,畢竟對于某些廠商來說,7nm就已經(jīng)是個巨大的挑戰(zhàn)了。同時,這也向IT行業(yè)傳遞了一個信號,即IBM仍然是一家硬件廠商巨頭。